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簡(jiǎn)要描述:日本SMC位置傳感器ISA3-GCP-3LB-L2驅(qū)動(dòng)方式配管規(guī)格C供氣側(cè):Rc1/8; 檢測(cè)側(cè):Φ4 快換接頭(額定距離范圍:0.01~0.03mm);Φ6 快換接頭(額定距離范圍:0.02~0.15mm/0.05~0.30mm);輸出規(guī)格PPNP1輸出壓力單位-帶單位切換功能位數(shù)33位
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日本SMC位置傳感器ISA3-GCP-3LB-L2驅(qū)動(dòng)方式
制造工藝:
二次光刻光敏區(qū)工藝
后去掉膠層,進(jìn)行氧化層的生長(zhǎng)
件下(0.32μm) 有大的分辯率。此時(shí)光電流大
區(qū)bf2 的離子注入
光敏區(qū)內(nèi)外電阻率比控工藝。影響高分辯率的因素
有結(jié)深
效地保護(hù)光敏區(qū)的表面,保護(hù)二氧化硅和硅的界面
。對(duì)于同一種器件結(jié)構(gòu)
60kev , 劑量為4e15;硼注入
1e13;光敏注入,能量為40kev ,劑量為4e13
類型介紹:
它是利用檢測(cè)平衡狀態(tài)下浮子浮力的變化來進(jìn)行位
置測(cè)量的
的衰減愈小
離
檢
通過向被測(cè)物體表面發(fā)射聲波
感器接受,通過時(shí)間和聲速來計(jì)算其到物體表面的
范圍寬
對(duì)于一些不宜接觸測(cè)量的場(chǎng)合是的選擇。它是
距離
。高性能產(chǎn)品能分別出哪些是信號(hào)波
日本SMC位置傳感器ISA3-GCP-3LB-L2驅(qū)動(dòng)方式
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